本公司專業(yè)維修半導(dǎo)體高壓電源供應(yīng)器、燈絲電源、RF射頻電源、直流電源、NIKON光刻設(shè)備控制板，控制器、驅(qū)動(dòng)器、電源，CANON光刻設(shè)備電源供應(yīng)器，激光焊接切割打標(biāo)設(shè)備電源。

 維修過的高壓電源工作范圍 

Ion Beam Implantation 離子束注入  

Electron Beam Welding電子束焊接  

Electrostatic Separators靜電分選機(jī)  

Electron Beam Evaporation電子束蒸發(fā)  

Ion Milling離子銑  

Neutron Generators中子發(fā)生器  

Plasma Igniters等離子用水  

Sputtering濺射  

Marx Generators發(fā)生器  

Electrostatic Lenses靜電透鏡

高壓電源如以下： 

高壓直流電源維修HV POWER SUPPLYHITEK OL800 OL6000、OL4000/603/01 0090-91917、0090-01017、SERIES 6000、SERIES 1000、1140-90164、1140-0016S。 VARIAN高壓電源E19000790、E11001010、E11001062、E11048881、E11000090、E11000092、E11038045、E11048890、E11057640、E11001041、E19000432、E11001031、E11001040、斯派曼SL100N500X2493、LAMBDA ESS 80-185-2-1162、TCR40T125 XE11000140、LAMBDA EMI XE11000140、ESS 80-125-8-1429 Delta SM45-70 SM70-45 SM30-100

AE/ENI射頻電源維修：OEM-28B -04,OEM-28B-02,OEM650A,OEM-12B-02,OEM-12B-02,OEM-1250,OEM-12A-12041-51,AMAT0190-7008

RFG3001,RFG3000,MWD-5,OEM-1250B,OEM60M等

 
 
 

各種激光發(fā)生器、X-RAY維修

松下伺服驅(qū)動(dòng)器Panasonic servo drive  DV468TC、DV468TB、MSD3A3A1XX、MSDA011A1A、MSD011A1XX、MSD023A1XX、DV467T、DV467TC、MSD011A1X、DV467TB、

安川驅(qū)動(dòng)器Yaskawa servo drive  SGDM-01ADA、DR2-A5AC-NY41、SGDM-05ADA、CLSR-18-N2CC CACR-03-TE3BUD、SGDM-02ADA

SMC CHILLER冷水機(jī)INR-244-117A INR-244-613C、INR-244-112C、INR-244-117B、INR-244-432、INR-244-412、INR-244-215A、INR-244-113A、INR-244-242B、MCE-52WB、MCE-52WC